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成功案例一
雙軸超精密氣浮運(yùn)動臺

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介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

采用碳化硅陶瓷氣浮導(dǎo)軌,超性能精度

速度1m/s,快速的整定時(shí)間

Y軸雙驅(qū)雙龍門結(jié)構(gòu),承載能力強(qiáng)

可選光柵或激光干涉儀位置反饋

定位精度±0.15μm,重復(fù)定位精度±75nm

優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

根據(jù)需求可定制

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