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地址:武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山二路特1號(hào)國(guó)際企業(yè)中心3棟
產(chǎn)品特點(diǎn):
閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu)
直驅(qū)驅(qū)動(dòng),零齒槽效應(yīng)
高速度穩(wěn)定性
納米級(jí)跳動(dòng)誤差
重復(fù)定位精度±0.5角秒
背景介紹
HCAR系列氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)跳動(dòng)。HCAR的設(shè)計(jì)滿足生物檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等高端行業(yè)。
密封式設(shè)計(jì)
對(duì)直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),使工作臺(tái)面降到最低,這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)有效的降低了工作點(diǎn)的高度,最大減少了因與其他軸疊層安裝引起的阿貝誤差。密封式結(jié)構(gòu)具有高剛度和大負(fù)載承重,不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差,而且傾角誤差比較小,由此產(chǎn)生的面誤差明顯優(yōu)于其它氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)或氣浮主軸,有利于各種應(yīng)用。
非接觸式結(jié)構(gòu)
采用無齒槽無刷電機(jī)和氣浮軸承,較大的提高了定位性能。電機(jī)采用先進(jìn)的磁路設(shè)計(jì),以最小的熱量產(chǎn)生高扭矩輸出,無齒槽設(shè)計(jì)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射,這使得非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉(zhuǎn)等應(yīng)用。
高精度性能
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)采用精密圓光柵反饋,先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)控制對(duì)光柵信號(hào)細(xì)分,分辨率0.01角秒,軸向跳動(dòng)誤差<100nm。
定制化設(shè)計(jì)
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)可安裝滑環(huán),用于測(cè)試速度穩(wěn)定性,MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào)
HCAR-100
HCAR-200
HCAR-300
行程
360°
臺(tái)面直徑
88mm
188mm
288mm
驅(qū)動(dòng)方式
直驅(qū)力矩電機(jī)
定位精度
±1arc sec
雙向重復(fù)精度
±0.5arc sec
同步軸向跳動(dòng)
100nm
同步徑向跳動(dòng)
100nm
電子分辨率
0.01nm
最大速度 (空載)
300rpm
擺動(dòng)
3μrad
最大負(fù)載
50 Kg
工作氣壓
0.5±0.05 MPa
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