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常見問題

氣浮運(yùn)動臺主要有哪些優(yōu)點(diǎn)

來源: 時(shí)間:2020-08-31 12:25:12 瀏覽次數(shù):

隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段,相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸的提高性能,所以有許多的公司都會用到氣浮運(yùn)動臺,這是一款高精度的設(shè)備,主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測,微納加工,測試測量等,但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。

  1. 高直線度和平面度

  2. 高定位精度和重復(fù)定位

  3. 運(yùn)動速度平穩(wěn)

  4. 納米級微動步距

氣浮運(yùn)動臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌,材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等,找到了最優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度,實(shí)現(xiàn)最大速度2米/秒,能夠擁有4G的速度,而且承載的能力也非常的出色,所以在目前的市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可,只是當(dāng)我們在選擇設(shè)備時(shí),或許也會存在很多的疑惑,比如說要選擇哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。

其實(shí)材質(zhì)的選擇是跟用戶的應(yīng)用有著緊密的聯(lián)系,單從性價(jià)比角度了解,碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運(yùn)動臺精度高,當(dāng)然成本也昂貴,鋁合金與大理石材質(zhì)的同樣性能比較,鋁合金的加工難度大些,成本較高,大理石的成本較便宜些。

利用先進(jìn)的直線電機(jī)驅(qū)動,選擇無鐵芯設(shè)計(jì),特點(diǎn)是無齒槽效應(yīng),高動態(tài)性能及電流噪音小等,所以在運(yùn)動的過程中能夠?qū)崿F(xiàn)超平穩(wěn)的效果,另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及先進(jìn)性的控制系統(tǒng),獲得高定位精度和重復(fù)定位精度,控制器對光柵尺最大65536倍細(xì)分,獲得納米級微動步距。

所以從各個(gè)方向的優(yōu)勢來看,氣浮運(yùn)動臺已經(jīng)成為當(dāng)前從事高精密應(yīng)用行業(yè)的選擇,能夠提高整個(gè)系統(tǒng)的精度性能。

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