光學(xué)平臺(tái)高度

800mm

光學(xué)臺(tái)面平面度

≤0.05mm/m2

光學(xué)臺(tái)面粗糙度

≤0.8μm，臺(tái)面亞光處理

光學(xué)平臺(tái)振幅

1.2um

固有頻率

x方向：1.2Hz～1.7Hz y方向：1.2Hz～1.7Hz

減振效率

x方向＜5Hz時(shí)：86%～92%  y方向＜5Hz時(shí)：84%～90%

x方向＜10Hz時(shí)：90%～96%  y方向＜10Hz時(shí)：88%～93

負(fù)荷承載

600kg/㎡

隔振方式

空氣彈簧 隔振橡膠

水平調(diào)節(jié)方式

自動(dòng)調(diào)平 氣動(dòng)元件執(zhí)行

空氣源

靜音空氣壓縮機(jī) ＜45dB 可外接

調(diào)節(jié)高度

±15mm

臺(tái)面編號(hào)

規(guī)格尺寸(mm)

臺(tái)面重量（kg）

支撐腿數(shù)量

0606

600×600×800

54

4

0906

900×600×800

81

4

1008

1000×800×800

120

4

1208

1200×800×800

144

4

1509

1500×900×800

202

4

1510

1500×1000×800

210

4

1609

1600×900×800

216

4

1812

1800×1200×800

324

4

2010

2000×1000×800

300

4

2012

2000×1200×800

360

4

2412

2400×1200×800

432

4

2415

2400×1500×800

540

4

3010

3000×1000×800

480

4

3012

3000×1200×800

576

4

3015

3000×1500×800

720

6

3512

3500×1200×800

672

6

3515

3500×1500×800

840

6

4015

4000×1500×800

960

6

4215

4200×1500×800

1008

8

4815

4800×1500×800

1152

8

5015

5400×1500×800

1200

12

6015

6000×1500×800

1440

12

各種尺寸，異形平臺(tái)均可定制