光學(xué)平臺系列

電動旋轉(zhuǎn)臺

電話：027-63499644
郵箱：whhcwzjd@163.com
地址：武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山二路特1號國際企業(yè)中心3棟

精密多軸直線電機平臺

非接觸式晶圓測量系統(tǒng)

所屬類別：精密多軸直線電機平臺

咨詢熱線：18571651663

詳細(xì)內(nèi)容

主要性能特征:

· 對射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量

· 直線電機高精度龍門運動機構(gòu)

· 兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量。

· 共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得極高的平面度及平順性

· 兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品（可擴(kuò)展至300mm 12英寸產(chǎn)品）

· 晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm

· 抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機架

· 最大掃描速度1m/s

· 可自定義生成快速便捷的自動化測量模式

· 直觀簡單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式

· 適用于厚度，TTV，LTV，TIR，Sori，Taper，Bow和Warp 測量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)

非接觸式晶圓測量系統(tǒng)