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地址:武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山二路特1號國際企業(yè)中心3棟
產(chǎn)品介紹:
三軸精密直驅(qū)精密對位平臺
采用直線電機驅(qū)動
全閉環(huán)機構(gòu),操作簡單,可靠性遠高于通過擬合運動的直線對位平臺
主要參數(shù):
XY有效行程 |
±110mm |
R軸有效形成 |
±5° |
XY軸分辨率 |
0.5um |
XY軸最小步長 |
1um |
R軸分辨率 |
1.5sec |
R軸重復定位精度 |
≤±5sec |
外形尺寸:
無需算法控制,XYR直接調(diào)節(jié)
使用壽命高達:3年
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