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精密多軸直線電機平臺
XYR精密直線電機平臺
所屬類別：精密多軸直線電機平臺
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詳細內(nèi)容
XYR精密直線電機平臺
特性：
高精度：分辨率0.1um.重復精度1um，定位精度2um
高速度：直線導軌、峰值速度3m/s 勻速段速度波動低于0.10%
高響應：特殊設計的鏤空花崗石基座和航空鋁連接構件，MAX10G加速度，優(yōu)異的加加速度控制
應用于：
晶圓光學探針檢測、視覺高精度掃描檢測、精密3D打印、LED高速焊接、激光加工、平板顯示器制造、高速高精度機床。
技術參數(shù)：
行程（mm）
X200 ,Y 400, R360
直線度(μm）
X5 Y5
重復精度(nm)
X±1 ,Y±1(分辨率0.1μm)
X-Y垂直度（arc-sec）
±5
R軸重復精度(acr-sec)
±2.5
額定負載(kg)
10（MAX40）
最大加速度(m/s2)
X15 Y8
X動負載（kg）
9.48
勻速速度(mm/s)
X300 Y500
Y動負載（kg）
46.26
勻速段長度(mm)
X186.5 Y329.69
總質量（kg）
92.6
工作周期(ms)
X1000 Y1700
外觀
黑色陽極
導軌類型
滾柱or滾柱線軌
基座材質
XY花崗石
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