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精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)
HCQ三軸精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)
所屬類別：精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)
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詳細(xì)內(nèi)容
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)
2、直驅(qū)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
3、龍門結(jié)構(gòu)，大理石平臺(tái)剛度大穩(wěn)定性好
4、定位精度±0.3um，重復(fù)定位精度±0.1um
5、Z軸采用重力平衡氣缸，確保的運(yùn)行精度
6、優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)
7、根據(jù)需求可定制化設(shè)計(jì)
我司制造的大行程三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于晶圓激光加工行業(yè)，氣浮非接觸式結(jié)構(gòu)已經(jīng)證明是精密應(yīng)用中的理想選擇。這種結(jié)構(gòu)可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底軸Y軸用于微動(dòng)調(diào)整步進(jìn)，微動(dòng)步距10nm，氣浮結(jié)構(gòu)保證了高直線度。上軸X軸搭載激光用于快速掃描切割晶圓，高平面度指標(biāo)保證了理想的切割直線，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)高動(dòng)態(tài)響應(yīng)和快速位置整定，Z軸采用低摩擦氣缸配重，用于微調(diào)整，氣浮結(jié)構(gòu)有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。
大理石龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，剛性好，穩(wěn)定性高。大理石基座上可以增加多個(gè)Y軸，龍門架X軸行程可定制，提升工作效率。
精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
HCQ-400-400-150
HCQ-500-500-150
HCQ-600-600-150
運(yùn)動(dòng)軸
X
Y(底）
Z
X
Y(底）
Z
X
Y(底）
Z
行程（mm）
400
400
150
500
500
150
600
600
150
重復(fù)定位精度（um）
±0.3
分辨率（nm）
±0.1
最大速度(m/S)
1
0.2
1
0.2
1
0.2
加速度(g)
1
0.2
1
0.2
1
0.2
直線度(um)
±0.5
速度穩(wěn)定性（@v=200mm/S）
0.01%
負(fù)載（KG）
15
10
15
10
15
10
三軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái) 笛卡爾龍門系統(tǒng)
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